浙江大学开发RFID新型纳米球探针技术，可用于生物材料和其他学科

记者日前从浙江大学获悉，该校胡焕研究员团队与IBM沃森研究中心团队、东华大学彭义天教授合作，发明了一种新型纳米球探针技术，可以精确测量纳米与微米之间的界面。填补了这一规模的空缺，解决了纳米摩擦学领域的重要技术瓶颈。

原子力显微镜用于研究物体接触时的“力”。其核心部件探头就像昆虫的“触须”，可以将样品表面受到的力转化为微悬臂的弯曲，再由激光束探测到。其中，球形原子力探头在变形、硬度和力学性能方面更有优势。然而，传统的球形原子力探头尺寸为1-10微米，在纳米尺度的测量上存在盲点。同时，球面探头采用胶水粘贴，粘贴位置难以控制，会影响精度，遇到高温或液体时容易脱落。

“高能氦离子束可以聚焦成直径约0.5纳米的束流点。就像一把超小型的刀，它可以随意切割纳米尺度的材料，但将高能氦离子束植入硅衬底会形成一个凸起。胡欢说，研究小组首次利用氦离子抬升效应来制作纳米球探针。采用聚焦离子蚀刻法在普通原子力显微镜探针上刻制平台，在平台上精确定位后注入高能氦离子束，使单晶硅凸起，实现稳定可靠的纳米球探针技术制造工艺。制作了一种高分辨率、高精度、耐高温的球形探头，针尖直径可在100纳米到1微米之间精确调节。